炉管工艺经理（Furnace Manager）

岗位职责：

• 负责炉管工艺部门的管理与运营，涵盖氧化、扩散、LPCVD、退火等热处理工艺。

• 制定炉管工艺温度曲线、气氛流量、升降温速率等关键参数，确保片内/片间均匀性。

• 管理炉管设备（垂直炉、水平炉、快速热退火RTP等）的维护、校准及石英耗材寿命管理。

• 解决氧化层厚度偏差、扩散剖面异常、LPCVD膜厚不均等工艺问题。

• 主导新型热处理工艺开发（如快速退火、激光退火），满足先进节点热预算要求。

• 建立并完善炉管工艺的SPC监控体系，提前预警并消除工艺漂移。

• 负责团队技术培训、安全操作规范及与其他模块（薄膜、清洗）的工艺衔接。