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清洗工艺经理(Wet Cleaning Manager)

岗位职责:

  • 统筹清洗工艺部门的技术与人员管理,制定湿法清洗工艺标准。

  • 开发并优化晶圆表面清洗工艺(RCA、SC-1/SC-2、臭氧水洗等),去除颗粒、金属沾污和有机物。

  • 管理清洗设备(湿法台、单片清洗机等)的维护、校准及工艺匹配。

  • 解决清洗过程中晶圆损伤、腐蚀、水印等缺陷问题,提升产品洁净度。

  • 协调与整合前段(光刻、刻蚀)和后段(薄膜、炉管)工艺对清洗的特殊要求。

  • 推动新型清洗化学品及绿色环保工艺的评估导入。

  • 负责团队技能培训、安全规范执行及成本降低项目

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