刻蚀设备研发工程师

岗位职责

1. 负责刻蚀设备整机或模块研发：腔体、射频系统、气体输送、真空、温控、静电吸盘、传输及控制软件。

2. 参与等离子体刻蚀（ICP/CCP/RIE等）系统设计、仿真与实验验证，优化刻蚀速率、均匀性、选择比及缺陷控制。

3. 负责关键零部件选型、供应商对接、样机装配、调试与问题攻关。

4. 协同工艺、电气、软件、制造团队，完成新设备导入、验证、量产及可靠性提升。

5. 编写技术文档、测试规范、BOM及专利，支持安全、认证与成本优化。

6. 跟踪竞品与前沿技术，推动设备迭代和平台化。