刻蚀经理（Etching Manager）

岗位职责：

• 领导刻蚀工艺团队，负责干法刻蚀（ICP、CCP）及湿法刻蚀工艺的研发与量产维护。

• 制定刻蚀工艺参数（气体流量、功率、压力、时间等），确保关键尺寸和形貌满足设计需求。

• 主导刻蚀机台（刻蚀机、去胶机等）的硬件改造与工艺调试，提升蚀刻速率均匀性。

• 解决刻蚀后出现的侧壁陡直度、微加载效应、电荷损伤等工艺难题。

• 管理刻蚀终点检测及工艺稳定性，大幅降低缺陷密度。

• 负责新工艺技术的开发（如原子层刻蚀），提升先进节点竞争力。

• 指导工程师进行异常处理，建立标准化作业文件，并推动设备预防性维护计划。