薄膜工艺经理（Thin Film Manager）

岗位职责：

• 全权负责薄膜沉积工艺（PECVD、PVD、ALD、CVD等）的团队管理及技术决策。

• 优化薄膜沉积条件（温度、压力、气体配比、射频功率等），确保膜厚均匀性、应力及台阶覆盖性能。

• 管理薄膜机台（溅射台、PECVD机、原子层沉积系统等）的验收、调试与日常监控。

• 解决薄膜颗粒、剥落、电性漂移等缺陷，改善界面质量。

• 负责新型薄膜材料（低k介质、高k介质、金属栅极等）的导入与工艺整合。

• 协调与光刻、刻蚀、炉管等工序的匹配，提升整体良率。

• 推动工艺成本降低（靶材、前驱体利用率优化），并负责团队建设与绩效管理。

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